使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式 
高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应 
多种用途。 
●可变更电极构造提高等离子效果。 
●搭载高精度适配器，高性能RF电源。 
●可根据需求规格提供定制。 
特征 
●硅晶圆的灰化及蚀刻 
●基板表面污垢处理 
●IC/LED封装、BGA/CSP基板处理 
●半导体相关部品的电子材料的干式清洗 
●自然氧化膜·有机物去除 
●界面活性处理 
●表面污染物去除