用途
•高分子材料表面的官能基付与一粘合性、密着性提高。通 过氧化反应，在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能 基（微量的水分及二氧化碳影响）。
同样在氮气等离子体中，氮原子被吸收在表面中，生
成-NH 2等官能基。
•硅晶圆蚀刻。
•材料表面改性（金属、聚合物、薄膜、啕瓷等）。
•石棉预处理（膜过滤灰化）。
•从电子设备到生化市场。
•低温灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
•使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
•表面有机物去除。